半導體等電子(zǐ)工業監測站解決方案

背景概述

半導體/電子(zǐ)工業是我國(guó)重點扶持和(hé)發展的(de)領域，在生态環境保護方面，半導體/電子(zǐ)工業制造廠也在加大投入污染治理(lǐ)和(hé)污染物在線監控，以降低(dī)對生态環境和(hé)居民的(de)影響。然而，半導體/電子(zǐ)工業制造廠的(de)廢氣／煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和(hé)VOCs排口，每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和(hé)VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個煙囪排口進行在線監測，就需要綜合考慮國(guó)際上先進的(de)監測技術和(hé)建設經濟效益，選擇最優的(de)解決方案。

行業類型：半導體等電子(zǐ)工業

主要監測因子(zǐ)：NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。

解決方案概述：博測環境提供的(de)整體解決方案是采用非接觸式差分吸收光譜法（DOAS），使用一(yī)條光路貫穿整個管道(dào)。光束通過光纖傳輸到分析儀，而這個分析儀又同時監測幾個路徑。滿足同時監測全部排口，多種因子(zǐ)，包括了酸性氣體、堿性氣體和(hé)VOCs氣體。該方案采用了先進的(de)光譜法（UV/IR）監測酸堿氣體和(hé)氣相色譜法（GC-FID）監測VOCs氣體。如(rú)下圖：

……項目